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Mask清洗设备
沈阳超夷Mask清洗设备可以用于对掩膜版表面，背面的清洁及检
沈阳超夷Mask清洗设备可以用于对掩膜版表面，背面的清洁及检查，通过我公司自主研发的风刀清洗技术以及压力毛刷技术可将附着在掩膜版正反表面的细微颗粒污染物去除，实现高效去除。通过大量仿真与工艺试验相结合，优化出最佳的清洗工艺参数。
通过翻转机构配合探尘灯实现宏观检查功能，客户可根据需求随意翻转任意角度进行检查，并可根据实际需要，一键自动返回片盒或进行清洗。

设备配置

1. LOADPORT×2

2. 目检单元×1

3. 清洗单元×1


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产品优势
应用领域
● 用于前后道制程掩膜版清洗工艺
● 用于掩膜版无接触半自动宏观检查
 
1. 配有掩膜版保护膜（Pellicle）风刀清洗技术，清洁保护膜的同时，消除其表面静电。
2. 配有托、夹分步功能机械手，最大程度降低掩膜版磨损风险。
3. 机台采用防静电管路，防止水中静电荷到达掩膜版表面，进一步。
4. 独有的掩膜版宏观检查翻转单元。
5. 软件客制化，界面友好，可按照客户要求更改。
6. 可为客户定制适用于6寸、7寸、9寸等不同尺寸掩膜版清洗设备。
7. 售后服务：响应快，当地驻厂服务（7X24小时）。
8. 支持工厂自动化 。